На стенде «Активной Фотоники» будет представлен Профилометр uSTEP300

Активное развитие отечественной микроэлектроники не может проходить без соответствующего совершенствования диагностических средств. В частности, разработка монолитных интегральных полупроводниковых пластин требует достоверного измерения геометрических, механических, химических и электрофизических параметров на протяжении всех этапов производства.
Своевременное тестирование, обнаружение и устранение дефектов – необходимая составляющая для повышения выхода годной продукции, а также сокращения времени изготовления. При этом совмещение различных диагностических методов в рамках одного прибора приводит к оптимизации всего процесса производства.
 
Именно поэтому прибор профилометр uSTEP 300 сочетает в себе методы контактного и неразрушающего контроля для возможности всесторонней оценки полупроводниковой продукции.
 
Преимущества и особенности uSTEP300
 
·         Возможность анализировать образцы с разным перепадом по высоте от моноатомных ступеней до развитого микрометрового рельефа
·         Новое поколение электроники с низким уровнем шумов обеспечивает исследование шероховатости с точностью до 2.7 А
·         Моторизованный позиционер большого размера позволяет исследовать образцы с диаметром до 300 мм
·         Точность позиционирования в латеральной плоскости 25 нм
·         Монолитная конструкция основания профилометра снижает влияние паразитных шумов в полосе частот выше 200 Гц на 30 дБ
·         Удобное и простое в использовании программное обеспечение, открывающее возможности к быстрым потоковым измерениям при межоперационном контроле
·         Низкая нагрузка на образец весом 0.03 – 10 мг, что позволяет деликатно работать с исследуемыми материалами без повреждения поверхности
·         Встроенная вспомогательная оптика включает в себя моторизированную систему управления фокусом, увеличением и перемещением в латеральной плоскости
·         Для сокращения влияния дрейфа и теплового шума система может быть дополнена термостабилизирующим шкафом.
 
Варианты профилометра uSTEP 300:

• Стилусная профилометрия
• Инспекционная машина uVISION 300
• Высокоточный XY позиционер uTRACK 300
• Зондовая станция uPROBE 200